寧波材料所承擔(dān)的中科院重大裝備研制項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收
2010年6月22-23日，寧波材料所承擔(dān)的中國科學(xué)院重大科研裝備研制項(xiàng)目——“雙彎曲磁過濾陰極電弧復(fù)合磁控濺射鍍膜裝置”,順利通過了中國科學(xué)院計(jì)劃財(cái)務(wù)局組織的專家驗(yàn)收。驗(yàn)收組由來自沈陽科儀、中科院物理所、蘭化所、固體所、金屬所等有關(guān)單位的專家組成。
驗(yàn)收會上，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、寧波材料所表面工程與再制造事業(yè)部研究員汪愛英向?qū)＜医M做了項(xiàng)目研制工作、經(jīng)費(fèi)決算和用戶使用報告。技術(shù)測試組從研制裝備的運(yùn)行、使用情況、和重點(diǎn)開展的技術(shù)測試實(shí)驗(yàn)結(jié)果角度，做了技術(shù)測試報告。驗(yàn)收專家組現(xiàn)場考察了研制的裝備系統(tǒng)并審核了相關(guān)技術(shù)資料，進(jìn)行了認(rèn)真提問和討論，認(rèn)為項(xiàng)目組完成并部分超過了合同書規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)內(nèi)容，驗(yàn)收材料齊全，經(jīng)費(fèi)使用合理，一致同意通過驗(yàn)收。
同時，專家組對該項(xiàng)目完成情況也給予了較高評價，指出該研制裝備不僅為寧波材料所更好完成高性能碳膜材料研究工作提供了良好技術(shù)平臺，而且項(xiàng)目執(zhí)行過程中與區(qū)域特色企業(yè)的緊密結(jié)合，也為促進(jìn)我院重大科研裝備成果的進(jìn)一步工程應(yīng)用發(fā)揮了積極作用。
專家組技術(shù)測試現(xiàn)場
項(xiàng)目驗(yàn)收現(xiàn)場
項(xiàng)目背景：目前，具有高離化率、高沉積速率的陰極電弧沉積技術(shù)（CVA）是沉積ta-C超硬碳膜的主要方法，但制備過程中存在的宏觀大顆粒協(xié)同沉積和薄膜中的高殘余應(yīng)力關(guān)鍵問題，使其廣泛應(yīng)用受到極大限制。國內(nèi)外采用不同結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的磁過濾技術(shù)雖在一定程度上可緩解大顆粒的污染問題，但在沉積速率和設(shè)備復(fù)雜度等方面尚存在不足。在2008年院裝備研制項(xiàng)目資助下，項(xiàng)目組通過系統(tǒng)理論計(jì)算、優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、關(guān)鍵部件選型與加工等大量工作，成功研制出了一套具有我國自主知識產(chǎn)權(quán)的運(yùn)行可靠、先進(jìn)的雙彎曲磁過濾陰極真空電弧復(fù)合磁控濺射沉積裝置。該裝置兼具宏觀大顆粒過濾有效、等離子體傳輸高效、大面積均勻低溫沉積的優(yōu)點(diǎn)，而且結(jié)合研制的技術(shù)成熟、易于實(shí)現(xiàn)金屬沉積的磁控濺射復(fù)合技術(shù)特點(diǎn)，通過工藝參數(shù)調(diào)控，采用該裝置能夠可控制備出不同結(jié)構(gòu)、功能設(shè)計(jì)的高性能薄膜材料。目前，項(xiàng)目組已初步制備出超硬（64GPa）、強(qiáng)膜基結(jié)合力（60N）、低應(yīng)力（<6GPa）、低摩擦系數(shù)（0.1）、表面光滑的高質(zhì)量ta-C碳膜材料，掌握了超薄ta-C碳膜可控技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)了濺射制備超硬TiN（47GPa）薄膜材料工藝技術(shù)新突破。該裝備的研制成功，不僅為我所承擔(dān)的相關(guān)碳膜科研任務(wù)提供了重要的技術(shù)平臺支持，也將進(jìn)一步推動MEMS、信息存儲、航空航天等高技術(shù)領(lǐng)域用高質(zhì)量碳膜、金屬（化合物）薄膜材料技術(shù)的發(fā)展。
（供稿：表面事業(yè)部 柯培玲/周毅 攝影：周毅）