寧波大學(xué)教授陳王華來訪寧波材料所
4月11日上午,應(yīng)中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所葉繼春研究員的邀請,寧波大學(xué)教授陳王華來訪寧波材料所,并做了題為“半導(dǎo)體納米線,三維原子探針層析以及低溫等離子體處理技術(shù)”的學(xué)術(shù)報告。
報告中,陳王華首先從半導(dǎo)體納米線的發(fā)展歷程出發(fā),詳細(xì)介紹了橫向和縱向硅、鍺納米線的制備工藝、調(diào)控機(jī)理和器件應(yīng)用;其次針對三維原子探針層析(APT)技術(shù)進(jìn)行了全面的介紹,并對其場發(fā)生原理、飛秒激光和質(zhì)譜分析三方面進(jìn)行了初步的闡述,展示了APT技術(shù)對半導(dǎo)體和金屬材料等超高精度(0.3nm)的濃度三維立體分布信息;最后還介紹了基于低溫等離子體技術(shù)的等離子體調(diào)控、材料表面改性、結(jié)構(gòu)刻蝕、器件鈍化和薄膜外延等功能在太陽電池和微電子領(lǐng)域中的應(yīng)用,并分享了薄膜硅研究中的幾個關(guān)鍵問題。在交流互動過程中,陳王華還與師生就諸多熱點問題進(jìn)行了熱烈的交流和探討。
陳王華,博士,寧波大學(xué)教授。2012年畢業(yè)于法國魯昂大學(xué),獲得材料物理博士學(xué)位。2013-2018年在法國巴黎綜合理工學(xué)院從事低溫等離子體半導(dǎo)體處理工藝的研發(fā)和檢測。2018年10月回國加入寧波大學(xué)理學(xué)院。以第一或通訊作者在Nature Communications, Progress in Photovoltaics,Solar Energy Materials Solar Cells等國際一流學(xué)術(shù)期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文20余篇。文章引用次數(shù)720余次。研究方向包括低溫等離子體處理,三維原子探針層析,半導(dǎo)體納米線的制備生長和表征等。
報告現(xiàn)場
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