新加坡國立大學(xué)Nazir Kamaldin博士來所進(jìn)行學(xué)術(shù)交流
5月23日，應(yīng)寧波材料所陳思魯研究員的邀請(qǐng)，新加坡國立大學(xué)電氣工程系Nazir Kamaldin博士到寧波材料所進(jìn)行了學(xué)術(shù)交流。他給大家做了題為《Robust control for dual-drive gantry and other typical actuators for semiconductor manufacturing processes》的學(xué)術(shù)報(bào)告。
他在報(bào)告中重點(diǎn)給大家介紹了傳統(tǒng)驅(qū)動(dòng)方式下的新型機(jī)電一體化和控制方法。他首先介紹了由兩組直線電機(jī)構(gòu)成的XY解耦合氣浮雙驅(qū)龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，并提出了這種機(jī)構(gòu)的具體特點(diǎn)和控制問題，如缺乏準(zhǔn)確的模型參數(shù)，與位置相關(guān)的干擾力矩等。結(jié)合這些問題，他介紹了對(duì)被控對(duì)象的拉格朗日建模，并提出了新型自調(diào)節(jié)加加速度的滑膜控制方案。其次他還講解了直線運(yùn)動(dòng)與平面運(yùn)動(dòng)結(jié)合的控制實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法，并展示了控制實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，即直線運(yùn)動(dòng)的跟蹤誤差和跟蹤效果以及平面運(yùn)動(dòng)的跟蹤誤差，并通過激光干涉儀進(jìn)行了驗(yàn)證。
運(yùn)動(dòng)控制是大多數(shù)工業(yè)加工普遍存在的問題，不夠精確的運(yùn)動(dòng)控制將使系統(tǒng)不受約束或不穩(wěn)定。在光刻領(lǐng)域，例如表面貼裝元件的放置和檢查，及其他高科技、高價(jià)值的制造領(lǐng)域中，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的直線運(yùn)動(dòng)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和其他平面運(yùn)動(dòng)組合是必不可少的。因此，為了滿足高科技、高價(jià)值制造業(yè)日益增長(zhǎng)的需求，控制方法和機(jī)電一體化設(shè)計(jì)的發(fā)展和研究勢(shì)在必行。
報(bào)告結(jié)束后，許多同事、同學(xué)就其報(bào)告的內(nèi)容進(jìn)行了提問，對(duì)其XY平臺(tái)不同位置、不同干擾的不同頻率響應(yīng)特性，以及前饋控制效果對(duì)反饋控制的影響進(jìn)行了探討。
【報(bào)告人簡(jiǎn)介】Nazir Kamaldin現(xiàn)于新加坡國立大學(xué)攻讀電氣工程博士學(xué)位，他于2013年獲得新加坡國立大學(xué)電氣工程榮譽(yù)學(xué)士學(xué)位，曾獲得新加坡國立大學(xué)科學(xué)工程一體化研究生院博士生獎(jiǎng)學(xué)金。在魯邦-自適應(yīng)控制，生物醫(yī)療傳感、驅(qū)動(dòng)和控制領(lǐng)域發(fā)表了多篇文章。
（先進(jìn)制造所 李振）