寧波材料所舉辦Zeiss聚焦離子束應(yīng)用講座
6月3日,寧波材料所公共技術(shù)服務(wù)中心邀請(qǐng)卡爾蔡司(中國(guó))公司應(yīng)用工程師舉辦了一場(chǎng)聚焦離子束(FIB)應(yīng)用講座,并舉行了不同樣品的檢測(cè)實(shí)戰(zhàn)演示,促進(jìn)了所內(nèi)科研人員對(duì)FIB的了解及應(yīng)用。
寧波材料所新購(gòu)置的ZEISS聚焦離子束(FIB)已經(jīng)安裝完畢即將投入使用。聚焦離子束(FIB)在掃描電鏡(SEM)的基礎(chǔ)上,配備了離子束鏡筒,可在納米尺度利用離子轟擊樣品表面,實(shí)現(xiàn)材料的剝離、沉積、注入等加工工藝。FIB的使用,為TEM塊體制樣提供了新的方法,特別是Si等輕質(zhì)導(dǎo)電性材料,讓我們可以選擇感興區(qū),制備相對(duì)較大的薄區(qū),同時(shí)制備時(shí)間相對(duì)會(huì)縮短。薄膜斷面的制備也會(huì)更加方便,但由于加工尺度限制,無(wú)法制備大范圍的斷面。利用三維重構(gòu)軟件包,可構(gòu)建樣品3D結(jié)構(gòu),更加直觀的觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)差異。
由于FIB在所內(nèi)的需求較多,講座吸引了近百人參加。講座結(jié)束后,應(yīng)用工程師還到測(cè)試中心FIB實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)樣品演示,幫助大家對(duì)設(shè)備的使用有了一個(gè)更加直觀的印象。
聚焦離子束設(shè)備的投入使用,必將對(duì)樣品的測(cè)試表征提供新的途徑,極大提高科研效率。而且此次購(gòu)置的FIB的電子束分辨率1.0nm@15kv,離子束分辨率優(yōu)于2.5nm@30kv,配備GIS氣體注入系統(tǒng)(Pt、Water、XeF2、I、C)、EDS能譜儀、OMNI PROBE納米機(jī)械手、inlens探頭,ESB探頭,NTS BSD探頭、STEM探頭,配置較全,能很好的滿足所內(nèi)外的需求,必將對(duì)所內(nèi)科研工作起到較好的支撐作用。

(公共技術(shù)服務(wù)中心)