美國Ultratech公司王耘博士來寧波材料所交流訪問
1月20日上午,美國Ultratech公司王耘博士來寧波材料所交流訪問,并作了題為“LSA技術及其在半導體中的應用”的學術報告。
報告中,王耘博士指出LSA(激光瞬間退火)技術是一種顛覆性技術,并分別從LSA技術的基本原理、在半導體設備中的應用、集成電路制造的快速退火、減少非均勻光的方式,以及未來3D結(jié)構與新材料的可擴展性等幾個方面進行詳細介紹。交流期間,王耘博士和與會人員就共同感興趣問題進行深入探討交流。
會后,王耘博士分別參觀了激光與智能能量場制造團隊實驗室、測試中心、超凈室以及光電光伏器件表征實驗室。

報告會現(xiàn)場
王耘博士在半導體器件,工藝,及設備領域有二十多年經(jīng)驗。目前主要負責研發(fā)激光快速熱處理技術及應用設備。其中LSA(激光瞬間退火)技術處于該領域世界領先地位,已被廣泛應用于最新半導體芯片的生產(chǎn)流程,并獲2009年國際半導體設備和材料協(xié)會(SEMI)頒發(fā)的年度新技術獎。
曾任美國摩托羅拉公司器件與工藝合成高級工程師,負責微控制器工藝流程的研發(fā)與技術轉(zhuǎn)讓。后加入美國半導體設備商Ultratech。 歷任項目經(jīng)理,技術總監(jiān),副總裁,資深副總裁等職。在快速激光熱處理與半導體工藝方面已獲13項專利,另有4項正在申請之中。在學術會議和刊物發(fā)表論文近60篇。并多次獲邀在相關國際會議中擔任委員。
早年畢業(yè)于北京大學物理系,后考取由諾貝爾獎獲得者李政道發(fā)起的CUSPEA物理獎學金。美國紐約大學(NYU)物理碩士,明尼蘇達大學電子工程博士。曾在紐約大學從事磁性薄膜的巨磁耦合研究。在明尼蘇達大學其間,從事納米制造,量子及單電子晶體管的研究。
(先進制造所)