日本東京大學(xué)吉田豊信教授一行到寧波材料所交流訪問
10月26日,世界著名等離子體專家、日本科學(xué)委員會成員、東京大學(xué)名譽教授教授
吉田豊信(Yoshida Toyonobu)和日本東京大學(xué)材料工程系副教授神原淳(Kambara Makoto)應(yīng)邀到中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所交流訪問,并分別作了題為“Plasma Materials Interfacing”和“Cluster assisted mesoplasma epitaxy”的學(xué)術(shù)報告。所屬新能源技術(shù)研究所葉繼春研究員主持報告會,寧波材料所所長、黨委書記崔平出席報告會,并為吉田豊信教授頒發(fā)了客聘研究員聘書。
報告中,吉田豊信教授從不同年代的材料研究主題引入,介紹了等離子體材料工學(xué)的歷史演變,與大家分享了他本人近50年來在等離子體技術(shù)領(lǐng)域的研究歷程,并且對中壓等離子體(Mesoplasma)外延成膜過程從科學(xué)本質(zhì)上進行了闡釋。與會人員全神貫注,對這一獨特的外延技術(shù)產(chǎn)生了濃厚的興趣。此外,作為世界上首套中壓等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的開發(fā)者,吉田豊信教授還向大家介紹了其團隊在此設(shè)備研究開發(fā)方面所做的一系列工作,向與會人員展示了此設(shè)備在各階段的演變過程。
隨后,神原淳教授就中壓等離子體外延沉積過程進行了詳細介紹,包括等離子體起輝、成膜前驅(qū)體形成、中壓等離子體噴槍結(jié)構(gòu)設(shè)計、反應(yīng)模型建立等。神原教授還進一步介紹了相關(guān)原位測試表征設(shè)備的搭建與進展。報告過程中,與會人員就感興趣的問題與二位專家進行了交流探討。崔平所長鼓勵大家要勇于探索、敢于創(chuàng)新、爭取突破。
報告結(jié)束后,在葉繼春研究員等人的陪同下,吉田豊信教授和神原淳副教授參觀了新能源所潔凈室,詳細了解了我方中壓等離子體外延沉積設(shè)備的建設(shè)情況,對于日后雙方繼續(xù)開展緊密合作做了細致的規(guī)劃。
報告人簡介:
吉田 豊信 (Yoshida Toyonobu),世界著名等離子體專家,日本物質(zhì)?材料研究所(NIMS)fellow,日本科學(xué)委員會材料工程部主席,東京大學(xué)名譽教授,多倫多大學(xué)兼職教授。Science and Technology of Advanced Materials雜志主編。曾擔(dān)任日本全國高校材料部門委員會主席、國際純粹與應(yīng)用化學(xué)聯(lián)合會(IUPAC)等離子體化學(xué)分會主席、國際等離子體化學(xué)協(xié)會(IPCS)fellow等。在中壓等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)、熱等離子體技術(shù)、低壓等離子體制程等方面有近50年的研究經(jīng)歷,涵蓋的材料體系涉及單晶硅、金屬合金、陶瓷、SiC、金剛石、立方氮化硼、高溫超導(dǎo)材料、燃料電池、熱障圖層等領(lǐng)域。發(fā)發(fā)表論文150余篇,出版科學(xué)著述10冊,申請專利30余項。榮獲等離子體材料科學(xué)獎、納米技術(shù)NEDO有望技術(shù)獎、日本金屬學(xué)會谷川哈里斯獎等多個獎項。
神原 淳 (Kambara Makoto),東京大學(xué)材料工程系副教授,國際等離子化學(xué)協(xié)會會員、日本物理協(xié)會、日本金屬協(xié)會會員,Sci. Tech. Adv. Mater.雜志副主編。一直從事等離子體材料工學(xué)、薄膜生長、納米顆粒以及超導(dǎo)材料相關(guān)的研究工作,在J. Appl. Phys.、Plasma Chem. Plasma Process、Supercond. Sci. Technol.、Surf. Coat. Tech.、IEEE Trans. Plasma Sci.、 J. Mater. Res.等雜志上發(fā)表SCI論文80多篇,在等離子體噴涂和成膜技術(shù)發(fā)面發(fā)表著作7部,曾獲JIM(日本金屬學(xué)會)青年研究者獎、本田紀(jì)念獎、MRS-J鼓勵獎等多項榮譽。

吉田教授做報告

神原教授做報告

崔平為吉田教授頒發(fā)聘書
(新能源所 韓燦 王鐘)