HMI（China）董事長陳仲瑋先生到寧波材料所訪問交流
12月24號，應(yīng)所長崔平邀請，HMI（Hermes-Microvision Inc）USA總經(jīng)理、China董事長陳仲瑋先生訪問寧波材料所，并與相關(guān)科研人員、研究生代表進(jìn)行了交流。
陳仲偉以“腳踏實(shí)地，建立中國人在世界半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的核心競爭力”為主題，從半導(dǎo)體領(lǐng)域所面臨的包括半導(dǎo)體曝光、缺陷檢測、蝕刻、沉積等問題入手，介紹了HMI公司的研發(fā)生產(chǎn)情況，以及該公司研制生產(chǎn)的以SOL原理超高速掃描電子顯微鏡為基礎(chǔ)的低能電子束半導(dǎo)體晶片納米缺陷檢測系統(tǒng)、研制成功的帶有8個(gè)電子槍的電子顯微鏡系統(tǒng)等。作為HMI公司的創(chuàng)始人之一，他通過親身經(jīng)歷和成功案例，與大家討論交流了事業(yè)、挑戰(zhàn)、人生，鼓勵(lì)年輕科研人員、研究生們要珍惜機(jī)會(huì)，發(fā)揚(yáng)拼搏向上、勇于創(chuàng)新的精神，爭取為新材料的發(fā)現(xiàn)和材料技術(shù)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
陳仲瑋先生于1962年畢業(yè)于北京清華大學(xué)電機(jī)系。1968年至1978年在青海第二機(jī)床廠任外線電工，機(jī)床電氣技術(shù)員，青海省科委計(jì)算中心負(fù)責(zé)人。1978年至1981年，在山東工業(yè)大學(xué)電子束曝光系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室讀研究生，獲得碩士學(xué)位，期間在國際上率先提出掃描電子顯微鏡復(fù)合偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)中擺動(dòng)物鏡（SOL）的概念。1984年，應(yīng)聘于英國科學(xué)與工程研究委員會(huì)外籍科學(xué)家，并于劍橋大學(xué)微電子學(xué)研究所從事電子束曝光系統(tǒng)大掃描場研究。1990年，獲得劍橋大學(xué)博士學(xué)位，同年任英國劍橋儀器公司首席科學(xué)家。1990年至1998年遠(yuǎn)赴美國KLA儀器公司任資深主任工程師，研制電子束檢測系統(tǒng)。1998年后，與他人共創(chuàng)HMI（Hermes-Microvision Inc），任HMI公司總經(jīng)理，并于2012年5月21日在臺(tái)灣上市，是世界上第一個(gè)華人領(lǐng)導(dǎo)的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司。
（科技發(fā)展部）