寧波材料所聯(lián)手寧波市企業(yè)破解半導體精密制造“卡脖子”難題
近日,中國科學院寧波材料技術與工程研究所和寧波越摩半導體設備有限責任公司,在“創(chuàng)新引擎培育全國行”(首站·寧波)活動上正式簽署合作協(xié)議。雙方將圍繞高端裝備超精密運動控制領域,協(xié)同攻關半導體制造裝備中工件臺納米級定位、多自由度協(xié)同運動控制等關鍵技術。
超精密運動控制系統(tǒng)決定半導體制造裝備的納米級定位與穩(wěn)定運行,是名副其實的“精度心臟”。目前,該技術長期被荷蘭、德日等國壟斷。國產設備在定位精度、動態(tài)響應及多軸協(xié)同上差距明顯,是半導體精密制造領域難啃的“硬骨頭”之一。此次寧波材料所與寧波越摩半導體的合作,正是瞄準這一技術壁壘,力求在超精密控制上實現(xiàn)自主突破。
“創(chuàng)新引擎培育全國行”(首站·寧波),由工業(yè)和信息化部指導,寧波市科技局、寧波高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)管委會主辦,寧波材料所及其下屬平臺浙江工研院發(fā)展有限公司受邀參會。寧波材料所始終秉持“一體兩翼”發(fā)展思路,積極服務國家需求、賦能產業(yè)發(fā)展,尤其在做深做透科技創(chuàng)新和產業(yè)創(chuàng)新深度融合方面不斷探索,努力打通從實驗室到車間的“最后一公里”。

簽約現(xiàn)場
(技術轉移處)