美國Ultratech公司王耘博士來寧波材料所交流訪問
1月20日上午，美國Ultratech公司王耘博士來寧波材料所交流訪問，并作了題為“LSA技術(shù)及其在半導(dǎo)體中的應(yīng)用”的學(xué)術(shù)報告。
報告中，王耘博士指出LSA（激光瞬間退火）技術(shù)是一種顛覆性技術(shù)，并分別從LSA技術(shù)的基本原理、在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用、集成電路制造的快速退火、減少非均勻光的方式，以及未來3D結(jié)構(gòu)與新材料的可擴展性等幾個方面進行詳細介紹。交流期間，王耘博士和與會人員就共同感興趣問題進行深入探討交流。
會后，王耘博士分別參觀了激光與智能能量場制造團隊實驗室、測試中心、超凈室以及光電光伏器件表征實驗室。
報告會現(xiàn)場
王耘博士在半導(dǎo)體器件，工藝，及設(shè)備領(lǐng)域有二十多年經(jīng)驗。目前主要負責(zé)研發(fā)激光快速熱處理技術(shù)及應(yīng)用設(shè)備。其中LSA（激光瞬間退火）技術(shù)處于該領(lǐng)域世界領(lǐng)先地位，已被廣泛應(yīng)用于最新半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)流程，并獲2009年國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(SEMI)頒發(fā)的年度新技術(shù)獎。
曾任美國摩托羅拉公司器件與工藝合成高級工程師，負責(zé)微控制器工藝流程的研發(fā)與技術(shù)轉(zhuǎn)讓。后加入美國半導(dǎo)體設(shè)備商Ultratech。 歷任項目經(jīng)理，技術(shù)總監(jiān)，副總裁，資深副總裁等職。在快速激光熱處理與半導(dǎo)體工藝方面已獲13項專利，另有4項正在申請之中。在學(xué)術(shù)會議和刊物發(fā)表論文近60篇。并多次獲邀在相關(guān)國際會議中擔(dān)任委員。
早年畢業(yè)于北京大學(xué)物理系，后考取由諾貝爾獎獲得者李政道發(fā)起的CUSPEA物理獎學(xué)金。美國紐約大學(xué)（NYU）物理碩士，明尼蘇達大學(xué)電子工程博士。曾在紐約大學(xué)從事磁性薄膜的巨磁耦合研究。在明尼蘇達大學(xué)其間，從事納米制造，量子及單電子晶體管的研究。
（先進制造所）