中科院裝備研制項(xiàng)目“管狀內(nèi)表面磁場(chǎng)誘導(dǎo)高離化濺射復(fù)合PECVD的碳基強(qiáng)化涂層沉積系統(tǒng)”通過(guò)技術(shù)驗(yàn)收
6月22日，中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所碳基薄膜與涂層技術(shù)團(tuán)隊(duì)承擔(dān)的中國(guó)科學(xué)院儀器裝備研制項(xiàng)目“管狀內(nèi)表面磁場(chǎng)誘導(dǎo)高離化濺射復(fù)合PECVD的碳基強(qiáng)化涂層沉積系統(tǒng)”順利通過(guò)技術(shù)專家組的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收，中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司的雷震霖研究員擔(dān)任驗(yàn)收專家組組長(zhǎng)。
驗(yàn)收會(huì)議上，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人汪愛(ài)英研究員首先匯報(bào)了項(xiàng)目概況、項(xiàng)目研制過(guò)程、關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)完成情況，并分析了利用研制裝備擬開(kāi)展的未來(lái)工作設(shè)想。專家組就研制裝備的核心特色、主要功能、涂層應(yīng)用等做了提問(wèn)和質(zhì)詢，并認(rèn)真審議和通過(guò)了技術(shù)測(cè)試大綱。隨后，專家組在設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)，按照技術(shù)測(cè)試大綱和項(xiàng)目任務(wù)書(shū)的條目要求，逐項(xiàng)進(jìn)行了指標(biāo)評(píng)測(cè)，查閱了用戶使用報(bào)告和第三方檢測(cè)公司出具的檢測(cè)報(bào)告。結(jié)合現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試結(jié)果，專家組一致認(rèn)為項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)研制的“管狀內(nèi)表面磁場(chǎng)誘導(dǎo)高離化濺射復(fù)合PECVD的碳基強(qiáng)化涂層沉積系統(tǒng)”的所有技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到甚至部分優(yōu)于實(shí)施方案規(guī)定的任務(wù)指標(biāo)要求。
通過(guò)項(xiàng)目實(shí)施，團(tuán)隊(duì)研制出一套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型管狀內(nèi)壁涂層鍍膜裝備；提出了同軸外磁場(chǎng)誘導(dǎo)和輔助陽(yáng)極調(diào)控的管內(nèi)高離化磁控濺射復(fù)合PECVD的設(shè)計(jì)新思路，實(shí)現(xiàn)了兼具高離化刻蝕清洗、金屬/化合物復(fù)合涂層制備、氮基/碳基表面防護(hù)涂層制備于一體的多樣功能；突破了傳統(tǒng)內(nèi)壁涂層制備存在的等離子體放電難、軸向均勻差、膜基結(jié)合弱、強(qiáng)韌耐蝕防護(hù)不足的共性技術(shù)挑戰(zhàn)，實(shí)現(xiàn)了小口徑（5mm～50mm）、大長(zhǎng)徑比（3-20）、多種金屬（鋼材類(lèi)、鈦/鋁合金類(lèi)）管狀內(nèi)壁的系列氮基/碳基防護(hù)涂層高質(zhì)量制備。以不銹鋼表面碳基涂層為例，性能達(dá)到厚度～14μm、硬度27GPa、室溫干摩擦系數(shù)＜0.15、腐蝕電流密度比基體高4個(gè)數(shù)量級(jí)、耐中性鹽霧1000小時(shí)。發(fā)展的相關(guān)涂層材料與裝備技術(shù)，為解決航空發(fā)動(dòng)機(jī)缸筒、內(nèi)花鍵及海水液壓泵等傳動(dòng)部件的表面強(qiáng)化與改性防護(hù)提供了保障，將助力涉海重大領(lǐng)域裝備的可靠運(yùn)行和長(zhǎng)壽命安全服役。
專家組技術(shù)驗(yàn)收現(xiàn)場(chǎng)
?。ㄖ锌圃汉Ｑ笮虏牧吓c應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 陳仁德）